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電子廠潔凈室空氣監(jiān)測(cè)，以及測(cè)試過濾設(shè)備的有效性和密封性
性能：
通道尺寸（µm）2100C： 6 Ch 0.1,0.2, 0.3, 0.5, 0.7, 1.0
2200C： 6 Ch 0.2, 0.3, 0.5, 0.7, 1.0, 3.0,5.0
1.0cfm（28.3升/分鐘）
樣品和保持時(shí)間1秒到24小時(shí)
光源采用HeNe激光
重疊損失<5%@40,000顆粒/ft3
通信方式：RS232C/RS485與計(jì)算機(jī)通信
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